podloga:B270
Tolerancija dimenzija: -0,1 mm
Tolerancija debljine: ±0,05 mm
Ravnost površine:1(0.5)@632.8nm
Kvalitet površine: 40/20
Širina linije:0,1 mm i 0,05 mm
ivice:Uzemljenje, 0,3 mm max. Kosina pune širine
Čisti otvor blende: 90%
paralelizam:<5”
premaz:T<0,5% @ 200-380nm,
T>80%@410±3nm,
FWHM<6nm
T<0,5% @ 425-510 nm
Montiraj:Da